各有關單位：
　　根據《深圳經濟特區(qū)科技創(chuàng)新促進條例》，深圳市第五屆人民代表大會常務委員會公告，第144號;《關于促進科技創(chuàng)新的若干措施》，中共深圳市委，深發(fā)〔2016〕7號;《深圳市科技計劃管理改革方案》，深圳市人民政府，深府〔2019〕1號;《深圳市科技計劃項目管理辦法》，深圳市科技創(chuàng)新委員會，深科技創(chuàng)新規(guī)〔2019〕1號;《深圳市科技研發(fā)資金管理辦法》，深圳市科技創(chuàng)新委員會、深圳市財政局，深科技創(chuàng)新規(guī)〔2019〕2號文件的相關規(guī)定，現(xiàn)決定開展2020年第三批技術攻關重點項目(材料能源專項)的申報工作。具體要求如下：

　　一、申請內容
　　為增強我市高新技術產業(yè)核心競爭力，提升產業(yè)整體自主創(chuàng)新能力，突破關鍵零部件等產業(yè)發(fā)展共性關鍵技術，聚焦我市戰(zhàn)略新興產業(yè)、促進生態(tài)文明建設和民生改善等科技領域瓶頸性關鍵技術，對深圳市高新技術產業(yè)重點領域、優(yōu)先主題、重點專項的關鍵技術攻關予以資助。

　　二、支持強度與方式
　　支持強度：有數量限制，受科技研發(fā)資金年度總額控制，單個項目資助強度最高不超過1000萬元。
　　支持方式：事前資助。

　　三、申請條件
　　申請技術攻關重點項目資助應當符合以下條件：
　　(一)申請牽頭單位應當是在深圳市或深汕特別合作區(qū)內依法注冊、具有獨立法人資格，且2019年度營業(yè)收入在2000萬元以上(含2000萬元)的國家或深圳市高新技術企業(yè)(證書發(fā)證年度為2017年、2018年或2019年)、技術先進型服務企業(yè)(證書在受理結束之日仍在有效期內);
　　(二)采用聯(lián)合申報方式，鼓勵產學研用合作攻關，牽頭單位2019年度營業(yè)收入不足1億的，參與單位應有1家企業(yè)2019年度營業(yè)收入在1億以上(含1億元)。國內(含港澳)高校、科研機構和企業(yè)可作為合作單位參與項目;
　　(三)申請單位應當具有良好的研發(fā)基礎和條件(在深具備研發(fā)場地、設施、人員等條件)、健全的財務制度和優(yōu)秀的技術及管理團隊，能提供相應的配套資金，企業(yè)自籌資金不低于申請的財政資助金額;
　　(四)項目負責人必須為申請牽頭單位的全職在職人員，且項目完成年度不超過60周歲;申請牽頭單位主要成員人數不少于單個合作單位人數;項目組成員總人數的50%以上須在深圳購買社會保險;
　　(五)聯(lián)合申報應注意以下事項：
　　1.申請書中填報合作單位名稱并加蓋合作單位公章;
　　2.合作協(xié)議中應明確申請牽頭單位和合作單位的研發(fā)內容分工、知識產權分配等相關內容;
　　3.申請牽頭單位資金分配比例不少于單個合作單位的分配比例;
　　4.申請牽頭單位可聯(lián)合國內(含港澳)創(chuàng)新資源共同研發(fā)。深圳市外單位作為合作單位的，按深圳市財政資助資金有關管理辦法執(zhí)行。
　　(六)本項目申請實行限項制，具體要求是：
　　1.同一個法人單位只能牽頭申請1項本批次技術攻關重點項目;
　　2.申報主體未列入科技誠信異常名錄，未違反國家、省、市聯(lián)合懲戒政策和制度規(guī)定，未被列為失信聯(lián)合懲戒對象;
　　3.已承擔2018、2019年技術攻關重點項目的項目負責人不得作為本批次技術攻關重點項目申請的項目負責人。
　　(七)如果項目申請涉及科研倫理與科技安全(如生物安全、信息安全等)的相關問題，申請單位應當嚴格執(zhí)行國家有關法律法規(guī)和倫理準則。

　　四、審批程序
　　項目征集——發(fā)布課題——申請單位網上申請——市科技創(chuàng)新委對申請材料進行初審——專家評審——現(xiàn)場核查——市科技創(chuàng)新委審定——市科技創(chuàng)新委下達項目資金計劃——申請單位與市科技創(chuàng)新委簽訂項目合同書——撥付資助經費。

　　五、課題內容
　　重2020N026 IC制程用BOE蝕刻液配方關鍵技術研發(fā)
　　一、領域： 四、新材料--(三)精細和專用化學品
　　二、主要研發(fā)內容
　　(一)電子級氫氟酸及氟化銨的開發(fā)研究;
　　(二)功能添加劑的篩選、設計與合成研究;
　　(三)蝕刻液配方與機臺工藝的適配優(yōu)化研究。
　　三、項目考核指標(項目執(zhí)行期內)
　　(一)經濟指標：實現(xiàn)銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
　　(二)學術指標：申請專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。
　　(三)技術指標：
　　1.金屬離子含量<1ppb，氯離子含量<100ppb，硫酸根離子含量<100ppb，硝酸根離子含量<100ppb;
　　2.SiO2蝕刻速率：800Å/min;
　　3.實現(xiàn)蝕刻液在28nm、14nm或更先進制程中的量產應用。
　　四、項目實施期限： 3年
　　五、資助金額： 不超過1000萬元

　　重2020N027 面向集成電路封裝基板微孔加工的極小徑微型鉆頭及涂層關鍵技術研發(fā)
　　一、領域： 四、新材料--(三)金屬材料
　　二、主要研發(fā)內容
　　(一)超精密加工表面創(chuàng)成機理研究;
　　(二)微鉆失效機制研究;
　　(三)極小徑微鉆設計和制造關鍵技術研究;
　　(四)超硬金剛石涂層技術研究。
　　三、項目考核指標(項目執(zhí)行期內)
　　(一)經濟指標：實現(xiàn)銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
　　(二)學術指標：申請專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。
　　(三)技術指標：
　　1.極小徑大長徑比微鉆：最小直徑0.075mm，長徑比≥20;
　　2.極小徑金剛石涂層鉆頭：最小直徑0.12mm，鉆孔壽命 ≥100,000孔;
　　3.超硬涂層性能：涂層硬度≥60GPa，摩擦系數≤0.1。
　　四、項目實施期限： 3年
　　五、資助金額： 不超過1000萬元

　　重2020N028 固定曲率AMOLED用低色偏圓偏光片關鍵技術研發(fā)
　　一、領域： 四、新材料--(三)高分子材料
　　二、主要研發(fā)內容
　　(一)多層光學膜低內應力復合技術研究;
　　(二)雙液晶相位補償膜工藝研究;
　　(三)高透過染色拉伸工藝研究;
　　(四)高黏著力壓敏膠開發(fā)研究。
　　三、項目考核指標(項目執(zhí)行期內)
　　(一)經濟指標：實現(xiàn)銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
　　(二)學術指標：申請專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。
　　(三)技術指標：
　　1.反射率(8°)≤6.0%，UV透過率(波長380nm)≤1%，單體透過率≥42.5%;
　　2.有效厚度<110μm，壓敏膠粘著力≥200 gf/25mm;
　　3.耐高溫性能：80℃，240h;耐低溫性能：-30℃，240h;耐高溫高濕性能：60℃，90%RH，240h;冷熱沖擊性能：-40℃- 85℃，100個循環(huán)。
　　四、項目實施期限： 3年
　　五、資助金額： 不超過1000萬元

　　重2020N029 高鐵用特種功能記憶材料及電纜終端關鍵技術研發(fā)
　　一、領域： 四、新材料--(三)高分子材料
　　二、主要研發(fā)內容
　　(一)非線性應力控制冷縮記憶材料設計研究;
　　(二)剛性阻燃耐漏電起痕性一體式傘裙絕緣材料研究;
　　(三)電纜終端整體電氣性能設計研究。
　　三、項目考核指標(項目執(zhí)行期內)
　　(一)經濟指標：實現(xiàn)銷售收入≥2000萬元;
　　(二)學術指標：申請專利≥7件，其中發(fā)明專利≥3件;
　　(三)技術指標：
　　1.非線性應力控制冷縮記憶材料：
　　(1)介電常數：25±5;
　　(2)拉伸強度≥10MPa;
　　(3)硬度(邵氏A)：40-45;
　　(4)低溫彎曲(-40℃，4h)：不開裂;
　　(5)拉伸永久變形(100℃，25h，100%拉伸)≤10%。
　　2.剛性阻燃耐漏電起痕性一體式傘裙絕緣材料：
　　(1)硬度(邵氏A)≥32;拉伸強度≥8MPa;斷裂伸長率 ≥350%;擊穿強度≥20kV;體積電阻率≥1014;
　　(2)低溫彎曲(-40℃，4h)：不開裂;
　　(3)阻燃EN45545(R22類別)：氧指數≥32，煙密度 ≤150，煙毒性≤0.75;
　　(4) 耐漏電起痕(1A3.5級)：通過;
　　(5) 老化性能(135℃，168h)：拉伸強度≥6MPa，斷裂伸長率≥250。
　　3.電纜終端技術參數：
　　(1)局部放電(20℃±15℃，48kV)≤5pC;
　　(2) 熱循環(huán)(恒壓負荷循環(huán))：60次循環(huán)，在69kV和 θt環(huán)境下，不閃絡、不擊穿;
　　(3) 沖擊試驗(過電壓)：75kV，8000次，不閃絡、不擊穿;
　　(4)低溫局部放電(-52℃，48kV)≤5pC;
　　(5)機械振動和沖擊：1類B級車體安裝的要求進行試驗，無機械損壞、功能良好(IEC 61373:2010)。
　　四、項目實施期限： 3年
　　五、資助金額： 不超過800萬元

　　重2020N030 芯片專用高分辨I線正性光刻膠材料關鍵技術研發(fā)
　　一、領域： 四、新材料--(三)高分子材料
　　二、主要研發(fā)內容
　　(一)光刻膠耐熱性與分子結構關系研究;
　　(二)樹脂分子量分布與線寬邊緣粗糙度控制研究;
　　(三)高分辨率光刻膠的感光劑酯化母體結構研究;
　　(四)高感光速度與寬工藝窗口結合方法研究;
　　(五)光刻膠顆粒過濾控制方法研究。
　　三、項目考核指標(項目執(zhí)行期內)
　　(一)經濟指標：實現(xiàn)銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
　　(二)學術指標：申請專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。
　　(三)技術指標：
　　1.分辨率≤0.30μm;
　　2.曝光能量≤100mJ/cm2 ;
　　3.耐熱溫度≥125℃;
　　4.單項痕量金屬雜質≤20ppb;
　　5.固體顆粒(≥0.3μm)≤50顆/mL;
　　6.含水量≤0.5%。
　　四、項目實施期限：3年
　　五、資助金額： 不超過1000萬元

　　重2020N031 石墨烯改性陶瓷樹脂無溶劑重防腐涂料關鍵技術研發(fā)
　　一、領域： 四、新材料--(三)高分子材料
　　二、主要研發(fā)內容
　　(一)石墨烯的分散及其與基質相融性研究;
　　(二)石墨烯改性陶瓷耐蝕樹脂涂料制備技術研究;
　　(三)微區(qū)電化學腐蝕的抑制技術研究;
　　(四)特殊工況下涂層的失效機理研究。
　　三、項目考核指標(項目執(zhí)行期內)
　　(一)經濟指標：實現(xiàn)銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
　　(二)學術指標：申請專利≥8件，其中發(fā)明專利≥4件。
　　(三)技術指標：
　　1.環(huán)保指標 VOC≤13g/L(GB/T-23985)，不揮發(fā)份含量≥96% (GB/T1725)。
　　2.性能指標
　　(1)耐鹽霧≥20000h (GB/T-1771);起泡程度：10級;邊界腐蝕≤2mm;拉拔強度：20-25Mpa(GB/T-5210);彎曲： 1mm(GB/T-1731);耐磨性(CS-17，500g，1000h)≤8mg (GB/T-1768);鉛筆硬度：7H-8H(GB/T-6739);耐沖擊： 50Kg?cm(GB/T-1732);
　　(2)耐干熱：250-260℃(GB/T-1735);耐熱驟變：10- 240℃反復30次(GB/T-1735);
　　(3)耐液體介質(GB/T-9274)：耐強酸(98%H2SO4,400天;37%HCl 90℃，7天);耐強堿(40%NaOH，≥100℃，30天;濃Ba(OH)2，≥120℃， ≥11天);耐強溶劑(99%二氯乙烷，65℃，400h)。
　　四、項目實施期限： 3年
　　五、資助金額： 不超過1000萬元

　　重2020N032 核領域安全保障消耗品關鍵技術研發(fā)
　　一、領域： 六、新能源與節(jié)能--(二)核能及氫能
　　二、主要研發(fā)內容
　　(一)核防護氣衣及氣面罩面料研制、系統(tǒng)集成及密封工藝關鍵技術研究;
　　(二)碘濾盒濾棉材料研發(fā)及放射性碘吸附關鍵性能鑒定;
　　(三)放射性顆粒物防護服用高阻隔高透濕面料設計及顆粒物防護效率評價;
　　(四)放射性污染物防護手套橡膠基材研發(fā)、功能填料分散均勻性研究。
　　三、項目考核指標(項目執(zhí)行期內)
　　(一)經濟指標：實現(xiàn)銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
　　(二)學術指標：
　　1.申請專利≥7件，其中發(fā)明專利≥3件;
　　2.制定企業(yè)或團體標準≥1項。
　　(三)技術指標：
　　1.核領域人員氣衣及氣面罩：
　　(1)抗穿刺≥10N，撕破強力≥2N;
　　(2)防護因子≥50000，內向泄露率≤0.002%。
　　2.核防護用碘濾盒：
　　(1) 通過NIOSH P100認證;
　　(2) 對放射性碘過濾效率≥99.97%。
　　3.放射性顆粒污染物防護服：
　　(1) 通過阻隔放射性顆粒物測試，名義防護因子≥6;
　　(2) 撕裂強度≥10N。
　　4.放射性污染物防護手套：
　　(1)厚度0.35～0.4mm;
　　(2)耐撕裂性≥10N。
　　四、項目實施期限： 3年
　　五、資助金額： 不超過800萬元

　　重2020N033 高熱流密度核燃料模擬非均勻加熱棒關鍵技術研發(fā)
　　一、領域： 六、新能源與節(jié)能--(二)核能及氫能
　　二、主要研發(fā)內容
　　(一)非均勻加熱管的設計、加工、裝配工藝研究;
　　(二)管內絕緣和防放電結構的設計和材料選擇;
　　(三)壁溫測量特殊結構的設計;
　　(四)高溫高壓條件下棒的綜合性能測試及可靠性驗證。
　　三、項目考核指標(項目執(zhí)行期內)
　　(一)經濟指標：實現(xiàn)銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
　　(二)學術指標：申請專利≥7件，其中發(fā)明專利≥3件。
　　(三)技術指標：
　　1.設計壓力：18MPa;
　　2.使用壓力：17.5MPa;
　　3.使用溫度：360℃;
　　4.最大熱流密度：4.0MW/m2 ;
　　5.功率分布：峰值功率為平均功率1.55倍的余弦分布形式;
　　6.測溫元件響應時間<0.03s;
　　7.溫度精度：I級精度;
　　8.整體電阻特性與理論值誤差≤1.5%;
　　9.加熱功率與非均勻壁厚的匹配度≤3%。
　　四、項目實施期限： 3年
　　五、資助金額： 不超過800萬元

　　重2020N034 大容量、寬頻帶特種變頻電源關鍵技術研發(fā)
　　一、領域： 六、新能源與節(jié)能--(四)高效節(jié)能技術
　　二、主要研發(fā)內容
　　(一)基于國產功率半導體器件的寬頻帶、高動態(tài)響應的變頻電源拓撲結構優(yōu)化設計方法研究;
　　(二)基于并聯(lián)模塊化大容量變頻電源的分布式運行控制和自適應保護方法研究;
　　(三)基于調制、控制一體化的寬頻帶電流、電壓調節(jié)方法研究。
　　三、項目考核指標(項目執(zhí)行期內)
　　(一)經濟指標：實現(xiàn)銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
　　(二)學術指標：
　　1.申請專利≥7件，其中發(fā)明專利≥3件;
　　2.參與IEC相關標準≥1項，制定國家標準≥2項。
　　(三)技術指標：
　　1.穩(wěn)態(tài)調節(jié)精度<0.1%，輸出頻率調節(jié)范圍0～1000Hz，電流響應≤2.5ms;
　　2.開關頻率2.5k～10kHz連續(xù)可調;
　　3.輸出UTHD≤2.5%，ITHD≤2.5%，功率因數范圍1.0～1.0;
　　4.節(jié)能效果明顯，效率≥98.4%;
　　5.實現(xiàn)寬頻帶、分布式多機并聯(lián)技術的首創(chuàng)性應用。
　　四、項目實施期限： 3年
　　五、資助金額： 不超過800萬元

　　重2020N035 智能集成安全線性液壓制動系統(tǒng) 關鍵技術研發(fā)
　　一、領域： 八、先進制造與自動化--(十)新能源汽車相關技術
　　二、主要研發(fā)內容
　　(一)集成、智能、線控液壓制動系統(tǒng)方案;
　　(二)關鍵零部件(伺服電機、高速開關閥等)開發(fā);
　　(三)電機增壓控制以及車輛操縱穩(wěn)定性技術研究;
　　(四)整車制動匹配驗證以及可靠性試驗策劃。
　　三、項目考核指標(項目執(zhí)行期內)
　　(一)經濟指標：實現(xiàn)銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
　　(二)學術指標：申請專利≥7件，其中發(fā)明專利≥3件。
　　(三)技術指標：
　　1.總成質量≤6.8kg;
　　2.工作電壓9～16V,工作溫度-40℃～105℃;
　　3.最大壓力180bar，建壓能力需要滿足8cm³(150ms)，機械備份減速度>2.44m/s²;
　　4.電機滿足最大扭矩≥2.45N.m，峰值功率≥570W，最大轉速>8000RPM;
　　5.至少包含以下功能：BBS(基礎制動功能)、RBS(再生制動功能)、ABS(防抱死功能)、EBD(制動力分配功能)、TCS(牽引控制功能)、VDC (車身穩(wěn)定控制功能)。
　　四、項目實施期限： 3年
　　五、資助金額： 不超過800萬元